布魯克bruker輪廓儀利用*的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái),將測(cè)量時(shí)間加快40%,同時(shí)保持行業(yè)的性能。Vision64是布魯克的64位并行處理操作和分析軟件,能夠更快地加載3D形貌文件,并更快地應(yīng)用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫(kù)分析。
單拱門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使布魯克bruker輪廓儀更堅(jiān)固,從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT升級(jí)的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響,并采用現(xiàn)代處理器,大限度地減少噪聲水平,使其成為能夠測(cè)量<10nm臺(tái)階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。
布魯克的Vision64軟件通過(guò)提供直觀、簡(jiǎn)化的用戶可視化界面,加入到DektakXT的創(chuàng)新設(shè)計(jì)。智能架構(gòu)和可自定義自動(dòng)化功能相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無(wú)論您是使用分析腳本對(duì)單個(gè)掃描結(jié)果進(jìn)行分析,還是應(yīng)用自定義篩選器設(shè)置和計(jì)算,DektakXT的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當(dāng)前分析結(jié)果,同時(shí)顯示其他可能的分析工具。
測(cè)量部分包括檢測(cè)器、驅(qū)動(dòng)部、測(cè)量臺(tái)立柱、測(cè)量臺(tái)基座、除振臺(tái)、架臺(tái)等。
⑴測(cè)量臺(tái)基架:用來(lái)安裝需要測(cè)量的工件。
⑵測(cè)量臺(tái)柱桿:使探針上下移動(dòng)。
⑶柱桿手動(dòng)旋鈕:手動(dòng)使探針上下移動(dòng)。
⑷測(cè)量面板:用于操作測(cè)量部分。
⑸驅(qū)動(dòng)部分:將探針沿著測(cè)量方向驅(qū)動(dòng)的裝置。
⑹驅(qū)動(dòng)方向指示燈:驅(qū)動(dòng)方向側(cè)指示燈亮燈。
⑺驅(qū)動(dòng)部分手動(dòng)旋鈕:用手動(dòng)方法進(jìn)行傳感器的左右移動(dòng)。
⑻驅(qū)動(dòng)部分手動(dòng)旋鈕切換開關(guān):按下此開關(guān),便可切換驅(qū)動(dòng)部分的手動(dòng)旋鈕的有效、無(wú)效。
⑼檢測(cè)器:用來(lái)獲取Z軸形狀數(shù)據(jù)。
⑽探針桿:用來(lái)安裝探針。
⑾探針:用來(lái)探測(cè)工件表面。
⑿測(cè)量力調(diào)整配重:為了調(diào)整測(cè)量力大小的配重。
⒀測(cè)量力微調(diào)緊固螺釘:用于調(diào)整測(cè)量力調(diào)整平衡塊的平衡螺釘。
操作使用步驟:
①將測(cè)量力調(diào)整配重的對(duì)刻度面與本體針桿的刻度中央位置對(duì)齊。
②使平衡塊向左右方向移動(dòng),將觸針懸臂調(diào)整至平衡(向前移動(dòng)4小格),在此狀態(tài)下測(cè)量力為零,此時(shí)觀察Z值接近于零即可,一般不可能達(dá)到絕對(duì)零。
③向下方向測(cè)量時(shí),請(qǐng)將測(cè)量力調(diào)整配重向左移動(dòng)一個(gè)刻度,測(cè)量力將變成10毫牛。
④向上方向測(cè)量時(shí),請(qǐng)將測(cè)量力調(diào)整配重向右移動(dòng)一個(gè)刻度,測(cè)量力將變成10毫牛。
注:1.通常的測(cè)量以10毫牛的測(cè)量力進(jìn)行。
2.標(biāo)準(zhǔn)針桿和長(zhǎng)度不同的針桿,其測(cè)量力與刻度都不同