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Diener 等離子去膠機(jī)

簡要描述:Diener 等離子去膠機(jī) Tetra42特點(diǎn):
便捷的觸摸屏操作界面
專用軟件支持自動(dòng)/手動(dòng)操作模式可切換(自動(dòng)模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定
數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實(shí)時(shí)顯示

  • 所在城市:上海市
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-04-09
  • 訪  問  量:1349
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)控制方式全自動(dòng)控制(自動(dòng)/手動(dòng)切換)
工藝氣體O2、Ar、N2、CF4、SF6等工藝氣路1-10
流量計(jì)MFC真空腔體鋁合金350x350x350
真空腔體容積 42L樣品臺旋轉(zhuǎn)樣品臺
外形尺寸W600xD850xH1700mm

Diener 等離子去膠機(jī) Tetra42

特點(diǎn):

·便捷的觸摸屏操作界面

·專用軟件支持自動(dòng)/手動(dòng)操作模式可切換(自動(dòng)模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定

·數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實(shí)時(shí)顯示

·支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗

·安全及異常報(bào)警功能

·多語言:法語、英語,德語,中文

 

Diener 等離子去膠機(jī) Tetra42用途

· 去除光刻膠

· 干刻或濕刻處理前或后

· SU-8或其他環(huán)氧基樹脂

· MEMS制造中去除犧牲層

· 去除光刻膠,SU-8,環(huán)氧樹脂

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